功不可沒/科大納米製造實驗中心 提供技術支援
陳敬指出，PowerSAC基礎器件方向的研究，高度仰賴科大的中央研發平台「羅台秦博士納米系統製造實驗中心」（NFF），他和團隊多年來從中受益不少。NFF始建於1991年，是香港首間設於高等學府內的納米製造實驗所，旨在為微米、納米器件及系統的研究與教學提供設備及技術支援，除服務科大全體教員外，亦支持本地其他院校從事相關研究的人員，並與內地和海外研究單位及商業機構合作。平台下設羅台秦博士納米系統製造實驗中心第二期、創新科技中心、深硅刻蝕工藝中心、納米製造演示實驗室及工藝實驗室五個獨立實驗室，為不同工藝提供一系列設備。
表面鈍化技術助業界發展
陳敬自2000年加入科大，現兼任NFF主任，一直專注氮化鎵、碳化硅等核心元器件研究。他表示，現時市面上的功率開關器件，例如手機快速充電頭，相比五、十年前體積更小、充電時間更短，不少產品都標示「GaN inside」，即以氮化鎵材料製成；當中大概一半左右的器件，其製作過程上使用了科大開發的表面鈍化技術，大幅提高了器件可靠性。他形容，表面鈍化是半導體功率器件製造的關鍵步驟之一，業界廣泛採用其實驗室研發成果，顯示科大成果真正影響了業界技術發展，並表示對此相當自豪。\大公報記者 柯慕蓉
