外電：中國開始生產自研DUV光刻機
香港文匯報訊 路透社昨日引述消息人士表示，中國已開始大規模生產自主研發的浸沒式深紫外（DUV）光刻機，該DUV光刻機由上海愛晟納電子技術集團牽頭進行生產。這項技術對先進芯片製造至關重要，這標誌着中國內地在減少對外國技術的依賴方面邁出了關鍵一步。
DUV是芯片製造的關鍵工具，長期以來一直由荷蘭供應商ASML主導。消息人士稱，愛晟納的DUV光刻機預計還需要進一步測試，與ASML的競爭機型相比還有很大的差距。然而，如果西方進一步限制外國光刻設備的出口或維修，愛晟納的DUV光刻機將成為中國芯片製造商另一個設備來源。
預計生產5台 今年交付
The Information周一亦報道了中國開始生產DUV光刻機，並指預計今年生產約5台，2027年產量預計增至約20台。這些設備預計將於今年交付中國主要芯片製造商，包括中芯國際、華虹半導體以及長鑫存儲。
根據公司紀錄，愛晟納成立於2023年8月，註冊資本為70億元人民幣，股東為上海電氣控股有限公司和上海國際信託有限公司的子公司。路透社的報道說，愛晟納整合了光刻初創公司宇量昇和上海微電子裝備（集團）股份有限公司的團隊。宇量昇是華為支持的設備製造商新凱來（SiCarrier）的關聯公司。
