話你知/氦氣:黃金氣體

  圖:今年4月,由中海石油氣電集團技術研發中心自主研製的高純氦氣提取裝置順利完成試產,並成功實現裝車外運,該裝置產出的氦氣產品純度穩定達到99.999%以上。
  圖:今年4月,由中海石油氣電集團技術研發中心自主研製的高純氦氣提取裝置順利完成試產,並成功實現裝車外運,該裝置產出的氦氣產品純度穩定達到99.999%以上。

  氦氣作為一種稀有惰性資源屬於戰略資源,常用於半導體製造、磁共振(MRI)超導磁體、火箭燃料加壓等航天和國防領域,被譽為「黃金氣體」。在半導體製造中,氦氣扮演着不可或缺的角色,尚無可替代方案,廣泛應用於晶圓冷卻、光刻過程、洩漏檢測等核心生產環節,直接關係到芯片製造的良率與穩定性。\大公報記者朱燁