達博半導體研發蜚聲國際
在日本主要成果
·達博牽頭美國泛林集團與日本國立材料研究所的聯合研發項目，主攻電子束檢測設備、刻蝕工藝核心材料等關鍵材料與核心部件研發，相關技術成果落地台積電日本熊本3nm量產線，是7nm及以下先進製程穩定量產的重要技術支撐。
新一代電子束檢測方案
·團隊研發出新一代電子束檢測方案，該技術通過優化二次電子能譜控制邏輯，將晶圓表層缺陷檢測精度提升至埃米級別，檢測效率較傳統方法提高近百倍，且整套技術已在台積電3nm產線完成長期量產驗證，技術成熟度較高。
全球首塊圓柱對稱旋轉晶體
·團隊成功研製出全球首塊圓柱對稱旋轉晶體，開創「電子衍射光學」全新研究方向，提出利用材料衍射調控電子運動軌跡的全新方法。可將電子束有效聚焦束流提升數萬至十萬倍，為新一代並行電子束設備提供關鍵技術路徑，甚至有望繞過EUV光刻技術，實現「換道超車」。
大公報記者郭瀚林整理
