深度聯動/新型校企協同研發 灣區創科優勢
促成此次成果的關鍵技術「強氧化原子逐層外延」，其誕生與粵港澳大灣區獨特的產學研生態密不可分，體現出大灣區在科技創新和產學研深度融合方面的獨特優勢。
據介紹，科研團隊在攻關過程中，深度聯動本地高端裝備製造企業，打造「科研牽引─聯合開發─迭代升級」新型校企協同研發範式。針對超高真空、超強氧化環境、原子級沉積精度、高度自動化等等嚴苛的要求，科研團隊組織多家國產設備製造企業，迅速組建由材料科學家、精密機械工程師和自動化控制專家組成的聯合技術組，最終打造出全球首台兼具超強氧化氛圍與原子級沉積精度的薄膜外延設備，實現較國際同類設備提升上萬倍的氧化效能。
團隊負責人陳卓昱表示，「大灣區有龐大的工程師團隊，讓科研需求可以被看到、有響應。」本地企業還派駐技術人員與高校實驗室建立長期合作關係，實時掌握設備運行狀態，在出現故障時快速完成維修或提供替代方案，最大程度支撐科研工作高效進行。\大公報記者李望賢
